CCM

Uw innovatie partner
Nederlands

Semicon

Mechanisch testopstelling wafer handling Het hele traject

Wij zijn actief als ontwikkelingspartner van systemen voor de Semicon-industrie. Onze inbreng omvat het hele traject. Van de specificatie- of concept-fase tot en met de 0-serie bouw en qualificatie/integratie van (sub)modules. Daarbij richten wij ons op handling van wafers, zowel atmospherisch als onder vacuüm-conditie.  

Inclusief onderhoud en upgrades

Daarnaast zijn wij vaak betrokken bij de ontwikkeling van de complexe tooling om modules te testen, calibreren en kwalificeren. Deze eenmalige, kleine serie-tools leveren wij turn key, inclusief onderhoud en upgrades.  

Vacuum applicaties en systemen voor ASML Voorbeelden van onze expertise in semicon zijn: 

  • Handling van wafers  met robot/gripper
  • Nauwkeurige voor wafer scribing/separation
  • Test tool vacuüm wafer take over 
  • Handling van wafers op tape frame
  • Construeren voor minimale generatie van particles
  • Construeren voor minimale verstoring temperatuur/airflow
  • Handling van reticles
  • Alignment van wafers met edge detectie
  • Pre-alignment in vacuüm
  • Wafer temperatuur stabilisatie
  • Eindkwalificatie tools Wafer Handling
  • Diverse afstel- en kwalificatie-tools                                                     

EUSPEN Conferentie Hannover 2017

Sioux CCM werkte van 2013 t/m 2017 aan de nieuwste generatie Wafer Handler voor ASML samen met ontwikkelaars van ASML, Demcon en VDL. Een aantal architecten van Sioux CCM vervulden sleutelposities in dit project en onze collega's Marnix Tas en Roland Hanegraaf schreven enkele artikelen voor de EUSPEN conferentie. 

ITRS roadmap is pushing wafer handling to milli-Kelvin performance

How to qualify wafer thermal conditioning at milli-Kelvin resolution?

Zij presenteerden hun state of the art kennis op de EUSPEN Conferentie in Hannover. Sioux CCM is trots op deze technologisch vernieuwende bijdrage op het gebied van Wafer Handling.    

Meer weten?  

In ons portfolio vindt u verschillende systemen waarin wij onze kennis toepassen.

Kijk ook eens bij onze kant en klare oplossingen. We staan graag voor u klaar.

Meer weten over semicon projecten binnen CCM?

Substrate Carrier actuatoren motion control Labview Web Handling CAE testapparatuur medische apparatuur assemblage validatie mechatronica FPGA imaging precisiemechanica fluorescentie design optica Media transport constructie principes VHDL cleanroom microcontroller semicon vacuum technologie